অতি উচ্চ রেজোলিউশন ক্ষেত্র উৎক্ষেপণ স্ক্যান ইলেক্ট্রন মাইক্রোস্কোপ Regulus সিরিজ
বর্তমান মডেলগুলো SU8240, SU8230, SU8220 এবং SU8010 পুনরায় একত্রিত হয়ে Regulus 8240, Regulus 8230, Regulus 8220 এবং Regulus 8100 হয়েছে।
'রেগুলাস সিরিজ' বিদ্যমান মডেলগুলির পর্যবেক্ষণ এবং বিশ্লেষণাত্মক কার্যকারিতা উত্তরাধিকারী, SU8200 সিরিজের কম শব্দ শীতল*1উচ্চ স্থিতিশীলতা পেতে পারেন।
ইলেকট্রনিক অপটিক্যাল সিস্টেমগুলিকে অপ্টিমাইজ করে, রেগুলাস 8240/8230/8220 1 কেভি অবস্থায় রেজোলিউশন 0.7 এনএম এবং রেগুলাস 8100 এর রেজোলিউশন 0.8 এন
এছাড়াও, অতি উচ্চ রেজোলিউশনের ক্ষমতা সম্পূর্ণরূপে ব্যবহার করার জন্য, বৃদ্ধির হার গতের 1 মিলিয়ন গুণ থেকে 2 মিলিয়ন*1.
Regulus 8240/8230/8220/8100 ব্যবহারকারী সমর্থন বৈশিষ্ট্যগুলিও উন্নত করেছে, যার মাধ্যমে ব্যবহারকারীরা বিভিন্ন জটিল সংকেত সনাক্তকরণ নীতিগুলি সহজেই বুঝতে পারেন এবং ব্
- *1
- শুধুমাত্র Regulus 8240/8230/8220
-
বৈশিষ্ট্য
-
স্পেসিফিকেশন
বৈশিষ্ট্য
- 'SU8200 সিরিজ' ব্যবহার করে ঠান্ডা ক্ষেত্রের ইলেক্ট্রনিক বন্দুক*2
- স্থিতিশীল পর্যবেক্ষণের অন্তর্ভুক্তি হিসাবে ফ্ল্যাশিংয়ের পরে উপস্থিত উচ্চ উজ্জ্বলতা স্থিতিশীল অঞ্চলের ইলেক্ট্রন বিম গ্রহণ করে, যা কম ত্
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV) - দূষণ ছোট, উচ্চ ভ্যাকুয়াম নমুনা গুদাম গ্রহণ
- শক্তি ফিল্টার ব্যবহার করুন (ঐচ্ছিক), বিভিন্ন উপাদান বিপরীত দেখতে পারেন*2
অত্যন্ত কম অবতরণ ভোল্টেজের অধীনে উচ্চ রেজোলিউশনের পর্যবেক্ষণ
নমুনা: সোনার কণা
ল্যান্ডিং ভোল্টেজ: 10 V
অতি উচ্চ রিজোলিউশন পর্যবেক্ষণ
নমুনা: PT Catalyst
ত্বরান্বিত ভোল্টেজ: 30 কেভি
কম ত্বরান্বিত ভোল্টেজের অধীনে উচ্চ রেজোলিউশন EDX বিশ্লেষণ
নমুনা: Sn বল
ল্যান্ডিং ভোল্টেজ: 1.5 কেভি
- *2
- শুধুমাত্র Regulus 8240/8230/8220
স্পেসিফিকেশন
প্রকল্প | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | |||
---|---|---|---|---|---|---|---|
দ্বিতীয় ইলেকট্রনিক রেজোলিউশন | 0.7 nm (ত্বরান্বিত ভোল্টেজ 15 কেভি) 0.8 nm (ল্যান্ডিং ভোল্টেজ 1 কেভি)*3 |
0.6 এনএম (ত্বরান্বিত ভোল্টেজ 15 কেভি) 0.7 nm (ল্যান্ডিং ভোল্টেজ 1 kV)*3 |
|||||
অবতরণ ভোল্টেজ | 0.1~2 kV | 0.01~20 kV | |||||
বৃদ্ধি করুন | 20 ~ 1,000,000 বার*4 | 20 ~ 2,000,000 বার*4 | |||||
নমুনা টেবিল | নমুনা টেবিল নিয়ন্ত্রণ | 3 অক্ষ মোটর ডেস্ক (ঐচ্ছিক 5 অক্ষ মোটর ডেস্ক) | 5 অক্ষ মোটর ড্রাইভ | ||||
স্থানান্তর পরিসীমা | X | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~110 mm | ||
Y | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~80 mm | |||
R | 360° | ||||||
T | -5~70° | ||||||
Z | 1.5~30 mm | 1.5~40 mm | |||||
পুনরাবৃত্তি | - | - | - | ± 0.5 μm নিচে ± 0.5 μm |
- *3
- ধীর মোডে পর্যবেক্ষণ
- *4
- 127 মিমি × 95 মিমি ফিল্মের উপর ভিত্তি করে মাপ
সম্পর্কিত পণ্য বিভাগ
- ফোকাস আয়ন বিম সিস্টেম (FIB/FIB-SEM)
- TEM / SEM নমুনা প্রাক প্রক্রিয়াকরণ ডিভাইস